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立式管式炉-高温气氛炉设备
立式管式炉-高温气氛炉设备
1200-1800℃立式管式炉,气氛保护,精准控温
立式管式炉采用垂直结构设计,通过电阻加热原理实现高温加热,控温精度达±1℃,最高温度可达1800℃,广泛应用于材料科学、新能源、半导体等领域,具有加热均匀、节能环保、操作简便等优势。
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一、产品概述
立式管式炉是一种采用垂直结构设计的高温加热设备,主要由耐
高温炉
管、加热元件、温控系统和气体控制系统组成。该设备通过电阻加热原理,将电能转化为热能,实现对物料的精确加热处理。立式管式炉以其结构紧凑、控温精准、气氛可控等特点,在材料科学、新能源、半导体制造等领域得到广泛应用。
二、工作原理与结构特点
2.1 工作原理
立式管式炉的工作原理基于电阻加热技术。电源提供电流给加热元件(电阻丝、硅碳棒或硅钼棒),加热元件通过电阻效应将电能转化为热能,通过热辐射和对流方式将热量传递给炉内物料。温度控制系统采用PID智能控制技术,通过热电偶实时监测炉内温度,根据设定值与实际温度的差异自动调节加热功率,实现温度的精确控制。
2.2 结构组成
立式管式炉主要由以下核心部件构成:
炉体结构
:采用优质冷轧钢板制作外壳,表面静电喷塑处理,具有防锈能力。炉膛材料采用进口摩根纤维或高纯氧化铝纤维,保温性能优异,节能效果可达老式电炉的80%以上。
加热系统
:加热元件采用掺钼铁铬铝合金丝、硅碳棒或硅钼棒,均匀分布在炉膛内部。加热温度范围广泛,电阻丝加热可达1200℃,硅碳棒加热可达1400℃,硅钼棒加热可达1600-1800℃。
温控系统
:配备智能PID温度控制器,控温精度±1℃,支持30段程序控温,可实现自动升温、保温、降温的全过程控制。系统具有超温保护、断偶报警等安全功能。
气氛控制系统
:炉体两端采用不锈钢法兰密封,可预抽真空至0.1MPa,并通入惰性气体(氮气、氩气)、还原性气体(氢气)或反应气体,实现气氛的灵活调控。
三、技术参数与性能指标
3.1 基本技术参数
参数名称
技术指标
备注
最高温度
1200-1800℃
根据加热元件不同
控温精度
±1℃
PID智能控制
升温速率
0-20℃/min
建议10℃/min
恒温区长度
150-200mm
温差±1-2℃
炉管尺寸
Φ40-120mm
可定制
加热区长度
300-500mm
单温区或多温区
功率
2.5-5.5KW
根据型号配置
电源
220V/380V
单相或三相
真空度
0.01-0.1MPa
机械泵可达
3.2 性能优势
高效节能
:采用双层炉壳风冷结构,表面温度≤45℃,保温时功率不到总功率的30%,节能效果显著。
温度均匀性
:加热元件环形分布,配合高效保温层,炉内温度分布均匀,温差≤±5℃,确保样品受热均匀。
气氛可控
:可预抽真空并通入多种保护气体,防止样品氧化,满足不同工艺需求。
操作简便
:配备智能温控仪,支持多段程序控温,可实现无人值守操作,操作界面简洁明了。
四、应用领域
4.1 材料科学研究
在科研院所和高校实验室中,立式管式炉广泛应用于材料性质研究、新材料的制备和样品处理。通过化学气相沉积(CVD)工艺可合成纳米薄膜、碳纳米管等纳米材料,在半导体材料制备方面可用于氧化、蒸镀、沉积等工艺。
4.2 金属热处理
立式管式炉可用于金属材料的淬火、退火、回火等热处理工艺,改善材料的机械性能、硬度和强度。在真空环境下加热金属零件,可实现高强度的金属连接。
4.3 陶瓷烧结
适用于陶瓷材料的烧结工艺,能够确保陶瓷制品的致密度、硬度和强度。在陶瓷瓷砖、陶瓷器皿等制造过程中,提供稳定的加热环境,保证产品质量。
4.4 新能源领域
在新能源领域,立式管式炉可用于锂电正负极材料的制备和热处理工艺,通过优化加热条件和气氛环境,提高锂电材料的性能和稳定性。还可用于燃料电池催化剂的制备。
4.5 半导体制造
在半导体芯片制造领域,立式管式炉用于晶圆处理、退火、扩散工艺优化半导体性能,以及薄膜沉积、物理气相沉积(PVD)制备金属电极或光学薄膜。
五、选型指南与使用注意事项
5.1 选型要点
根据工作温度选择
:工作温度小于1200℃可选择石英管炉管和电阻丝加热;1200-1400℃选择氧化铝炉管和硅碳棒加热;1400-1800℃选择氧化铝炉管和硅钼棒加热。
根据升温速率选择
:升温速率要求不高(0-30℃/min)可选择普通管式炉;要求较高(大于30℃/min)需选择快速退火炉。
根据气氛要求选择
:需要气氛保护或真空环境时,选择配备气氛控制系统的型号;需要高压环境时,选择高压管式炉。
5.2 使用注意事项
安全防护
:操作时佩戴耐高温手套、防护眼镜、实验服,防止烫伤或飞溅物伤害。炉体周围1米内禁止放置易燃物,远离明火,配备干粉灭火器。
设备检查
:实验前检查炉膛、炉管、加热元件、密封件等部件是否完好,无裂纹或松动。确认电源线路、接地装置、温控仪表连接牢固,无老化或破损。
气氛控制
:使用高纯度气体(≥99.99%),防止杂质影响实验结果或腐蚀炉管。真空炉使用前需进行漏率测试,确保密封性。
升温与降温
:低温段(室温至300℃)可快速升温,高温段(≥800℃)需减缓速率(建议≤10℃/min),避免热应力导致炉管变形。降温阶段选择自然冷却或程序控制降温(速率≤15℃/min),防止样品急冷产生裂纹。
维护保养
:每次实验后清理炉膛内残渣,定期检查炉管内壁,清除氧化层或沉积物。每半年校准温度传感器和控制器,每年更换密封圈,确保设备稳定性。
六、结语
立式管式炉凭借其垂直结构设计、精准控温、气氛可控等优势,已成为材料科学、新能源、半导体制造等领域不可或缺的高温加热设备。随着技术的不断进步,立式管式炉在控温精度、加热效率、安全性能等方面将持续优化,为科研实验和工业生产提供更加可靠、高效的加热解决方案。在选择和使用过程中,用户应根据具体工艺需求合理选型,严格遵守操作规程,确保设备安全稳定运行,充分发挥其性能优势。
常见问题
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